Термоплитка для задубливания фоторезиста HPS
|
Установка предназначена для сушки и задубливания фоторезиста на пластинах и подложках. За счет особой конструкции нагревателя установка обеспечивает высокую однородность температуры рабочей поверхности. В стандартном исполнении диаметр обрабатываемых пластин/подложек не более 150 мм. Возможно изготовление термоплитки больших размеров по требованию Заказчика.
Для удобства загрузки и выгрузки пластин, а также для сушки на контролируемом зазоре в составе установки предусмотрены загрузочные пины.
| Технические характеристики: |
|
Размер обрабатываемых пластин, не более, мм | 150 |
| Диапазон температур, °С | от комнатной до 250 |
| Неоднородность температур, °С | ±1 (при 100°С) |
Размер рабочей поверхности, мм | 200х200 |
Ход загрузочных пинов, мм | 10 |
Напряжение питания, В | 220 |
с частотой тока, Гц | 50 |
Потребляемая мощность, не более, кВт | 1 |
Габаритные размеры, не более, мм | 300х300х300 |
Вес, не более, кг | 20 |
