Прецизионная дисковая резка
|
Установка дисковой резки предназначена для прецизионной дисковой резки пластин и подложек из полупроводниковых и диэлектрических материалов:
|
|
Установка предназначена для отмывки и сушки пластин и прямоугольных подложек после процесса резки. Диаметр обрабатываемых пластин до 200 мм, возможна групповая отмывка пластин меньшего диаметра. |
|
Установка WM-200 предназначена для монтажа пластин/подложек на рамки с использованием пленочного носителя. Данная операция производится непосредственно перед резкой пластины на отдельные кристаллы и заключается в закреплении пластины на адгезионную пленку и стальную рамку.
|
|
Установка экспонирования UV-210 предназначена для снижения адгезии УФ-чувствительных пленок, используемых при разделении пластин и подложек на установках дисковой резки , а также при шлифовке пластин. Она обладает безопасным и надежным источником ультрафиолетового излучения и позволяет полностью контролировать процесс экспонирования через панель оператора с графическим дисплеем.
|
|
Установка WM-200 предназначена для монтажа пластин/подложек на рамки с использованием пленочного носителя. Данная операция производится непосредственно перед резкой пластины на отдельные кристаллы и заключается в закреплении пластины на адгезионную пленку и стальную рамку.
|
|
Алмазные диски изготавливаются методом порошковой металлургии. Основу диска составляет связка из меди, никеля и олова, которая обеспечивает его высокую стойкость и производительность при резке различных материалов. |
