Установка дисковой резки "Сатурн"
|
- Поликор ВК-100
- Керамика ВК-94, ВК-40, Т-150 и др.
- Ситалл
- Кварц
- Ниобат лития
- Кремний
- Арсенид галлия
- Ферриты
- Карбиды
- Стекло и др.
Высокое качество резки пластин/подложек обеспечивается благодаря жесткой конструкции корпуса, прецизионно отбалансированному валу шпинделя на воздушных подшипниках, а также плавной подачей заготовки.
Система управления установки построена на базе компьютера промышленного исполнения с установленным программным обеспечением, которое обеспечивает работу установки в ручном и полуавтоматическом режимах. В ней использованы надежные комплектующие известных мировых производителей: платы управления Advantech Automation, пневматическая система - SMC, шаговые привода Oriental Motor, привод шпинделя KEB.
В установке «Сатурн» реализованы новые алгоритмы позиционирования шпинделя по осям Y и Z, которые позволяют добиться точности резки и глубины врезания до 3 мкм. Текущее положение шпинделя контролируется линейными энкодерами.
Установка оснащена датчиком бесконтактного измерения диаметра диска, который позволяет компенсировать износ диска в процессе работы.
Технические характеристики: | |||
Размер обрабатываемых пластин/подложек | мм | до 150x150 | |
Ось X | Привод | - | Воздушный подшипник |
Скорость подачи стола | мм/с | 0.1 - 200 | |
Ось Y | Привод | - | ШВП с шаговым двигателем |
Контроль позиционирования | - | Линейный энкодер | |
Дискретность перемещения | мм | 0.001 | |
Точность позиционирования | мм | 0.003 | |
Ось Z | Привод | - | ШВП с шаговым двигателем |
Контроль позиционирования | - | Линейный энкодер | |
Дискретность перемещения | мм | 0.001 | |
Точность позиционирования | мм | 0.003 | |
Ось U | Угол вращения | град. | 360 |
Контроль позиционирования | - | Угловой энкодер | |
Точность | угл. сек | 5 | |
Шпиндель | Мощность | кВт | 1.2 |
Скорость вращения | 1/мин | 5 000 - 60 000 | |
Напряжение питания | - | 220В, 50Гц, однофазное | |
Сжатый воздух | л/мин | 270 (при давлениии 5 бар) | |
Вода на охлаждение диска | л/мин | до 2 | |
Габаритные размеры | мм | 750x1150x1650 | |
Вес | кг | 410 |