Центрифуга для нанесения фоторезиста TCS
|
Настольная установка серии TCS предназначена для нанесения/проявления фоторезиста и может быть легко сконфигурирована под требования Заказчика. Установка ориентирована на работу в мелкосерийных производствах, научно-исследовательских институтах или лабораториях.
В установке использована современная система привода центрифуги, позволяющая с высокой точностью поддерживать заданную частоту вращения и получать равномерное покрытие на пластинах диаметром до 150 мм или прямоугольных подложках с габаритными размерами до 127х127 мм.
Для обеспечения химической совместимости с дозируемыми веществами модуль центрифуги может быть выполнен из различных материалов: полипропилен, фторопласт, анодированный алюминий.
Управление установкой осуществляется с помощью встроенного микроконтроллера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение позволяет задавать оператору сложные рецепты обработки, которые могут включать в себя до 50 шагов с индивидуальными значениями ускорения, скорости и времени.
Опции:
- Шприцевой пневматический дозатор фоторезистов
- Моторизированный шприцевой дозатор для фоторезистов с высокой вязкостью
- Блок дозирования из бутыли под давлением
- Широкий выбор легкосъемных столиков из различных материалов с вакуумным или механическим креплением пластин/подложек
- Инструмент для центрирования пластин/подложек на вакуумных столиках
- Наддув азота в модуль центрифуги
- Чаша центрифуги из анодированного алюминия, фторопласта или нержавеющей стали
- Удаление краевого валика (edge bead removal)
| Технические характеристики: |
|
Размер обрабатываемых пластин, не более, мм | 150 |
| Размер обрабатываемых прямоугольных подложек, не более, мм | 127х127 |
| Скорость вращения центрифуги, не более, об/мин | 8000 |
Напряжение питания, В | 220 |
с частотой тока, Гц | 50 |
Потребляемая мощность, не более, кВт | 0,5 |
Давление сжатого воздуха (для создания вакуума), не менее, МПа | 0,3 |
Наружный диаметр шланга подачи сжатого воздуха, мм | 6 |
Наружный диаметр сливного шланга, мм | 12 |
Внутренний диаметр воздуховода вытяжки, мм | 50 |
Габаритные размеры, не более, мм | 350х450х410 |
Вес, не более, кг | 23 |
