Установка отмывки пластин WCS-200
Установка предназначена для отмывки и сушки пластин и прямоугольных подложек после процесса резки. Диаметр обрабатываемых пластин до 300 мм, возможна групповая отмывка пластин меньшего диаметра. Различные варианты исполнения установки позволяют проводить отмывку струей высокого давления и мягкую отмывку спреем.
Управление установкой осуществляется с помощью встроенного микроконтроллера с графическим дисплеем. Программное обеспечение имеет простой и понятный интерфейс и позволяет задавать оператору различные рецепты обработки, которые включают в себя до четырех стадий:
- Предварительное ополаскивание
- Отмывка
- Сушка азотом
- Центрифугирование
В установке использована современная система привода центрифуги, позволяющая с высокой точностью поддерживать заданную частоту вращения и обеспечить постоянство результата отмывки.
Установка выполнена в напольном исполнении и состоит из следующих основных элементов:
- Корпус;
- Центрифуга, где происходит процесс обработки пластин;
- Моторизированное сопло отмывки с программируемым ходом;
- Автоматическая крышка с датчиками положения;
- Графический дисплей, предназначенный для вывода информации о состоянии системы, задания режимов работы, а также для выполнения настроечных операций;
- Передний отсек, где расположены пневматический и гидравлические блоки;
- Задний отсек, где расположен электрический блок.
Технические характеристики: |
|
Диаметр обрабатываемых пластин, не более, мм | 300 |
Регулируемые параметры процесса отмывки:
| |
Скорость вращения пластины, об/мин | 500 - 3000 |
Напряжение питания, В | 220 |
с частотой тока, Гц | 50 |
Потребляемая мощность, не более, кВт | 0,5 |
Давление сжатого воздуха, не менее, МПа | 0,5-0,6 |
Расход сжатого воздуха, не более, м3/ч | 3 |
Диаметр трубки подвода сжатого воздуха, мм | 6 |
Давление деионизованной воды, МПа | 0,2-0,3 |
Расход деионизованной воды, не более, л/ч | 100 |
Диаметр трубки подвода деионизованной воды, мм | 6 |
Подводимый вакуум, МПа | 0,02-0,04 |
Диаметр трубки подвода вакуума, мм | 6 |
Внутренний диаметр подводимого вентиляционного шланга, мм | 50 |
Габаритные размеры установки, не более, мм | 900х780х1280 |
Вес установки, не более, кг | 110 |