Установка сушки пластин УО

Установка предназначена для сушки полупроводниковых пластин методом центрифугирования после проведения операция химической обработки или травления. Обработка пластин происходит в групповых кассетах. В ходе выполнения операции пластины сначала орошаются деионизованной водой, а после обдуваются потоком нагретого до температуры 75°С  азота. Загрузка и выгрузка кассет с пластинами осуществляется вручную. Установка предназначена для работы в чистых помещениях класса 100.

Управление установкой осуществляется с помощью встроенного микроконтроллера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение имеет простой и понятный интерфейс и позволяет задавать оператору различные рецепты обработки, которые включают в себя две стадии с индивидуальными значениями скорости центрифуги, времени обработки и температуры сушки.

В установке использована современная система привода центрифуги, позволяющая с высокой точностью поддерживать заданную частоту вращения и обеспечить постоянство результата отмывки-сушки.

 
Карусель для размещения групповых кассет на 4 места

Установка выполнена в напольном исполнении и состоит из следующих основных элементов:

• Корпус, выполненный из полипропилена
• Центрифуга, где происходит процесс обработки пластин;
• Крышка, через которую осуществляется подача деионизованной воды и подогретого азота на пластины. Подъем и опускание крышки происходится автоматически;
• Сенсорный дисплей, предназначенный для вывода информации о состоянии системы, задания режимов работы, а также для выполнения настроечных операций;
• Лицевая панель, на которой расположены элементы индикации работы установки;
• Передний отсек, где расположены пневматический и гидравлические блоки;
• Задний отсек, где расположен электрический блок.