Установка химической обработки пластин в органических растворителях

Установка предназначена для химической обработки полупроводниковых пластин и удаления фоторезиста с полупроводниковых пластин в органических растворителях. Имеет 5 рабочих ванн:

1. Ванна обработки в органических растворителях

Материал ванны нержавеющая сталь.
Габариты 218х278х200 h.
Система нагрева и поддержания температуры. Косвенный нагрев через глицериновую рубашку. Нагрев до 100 С°.
Донная решетка с отверстиями для установки кассет с пластинами.
Система контроля времени процесса на основе программируемого таймера с зуммером.
Крышка с водяным охлаждением.
Сливной патрубок с вентилем.
Азотные ножи. Представляют собой отверстия, расположенные в верхней части внутренней стенки ванны, ближней к оператору. При открывании крышки ванны через эти отверстия подается поток азота из магистрали, отсекающий пары реагента от оператора и направляющий его в сторону вытяжной вентиляции.

2. Ванна обработки в органических растворителях

3. СТОП-Ванна

Материал ванны полипропилен.
Габариты 200х300х200 h.
Съемная крышка из полипропилена.
Блок управления.

СТОП-ванна предназначена для отмывки пластин в деионизованной воде путем многократного сброса воды из ванны и быстрого наполнения ванны с пластинами водой через патрубок, расположенный в дне ванны и форсунки, расположенные вдоль передней и задней стенок ванны. Сброс воды осуществляется через клапан сброса с пневматическим управлением.

4. Ванна финишной промывки

Материал ванны полипропилен.
Габариты 200х300х160 h.
Переливной карман с кондуктометром для контроля качества отмывки полупроводниковых пластин.
Сливной патрубок с вентилем.
Патрубок подачи дистиллированной воды с вентилем, расположенный в днище ванны.
Съемная крышка из полипропилена.

5. Ванна финишной промывки

Установка изготовлена из полипропилена с соединительными деталями из нержавеющей стали. В задней стенке расположены вентиляционные решетки и фланец для подключения к цеховой вентиляции. Установка укомплектована прозрачными экранами по фронту и стационарными верхним и боковыми экранами. В столешнице расположены ванны, пистолет подачи деионизованной воды и пистолет подачи азота. На лицевой панели корпуса расположены органы управления установкой: автомат включения, таймеры для контроля продолжительности технологических процессов и кнопки включения таймеров, терморегуляторы для задания температуры в ваннах обработки пластин.

Технические характеристики:
Рабочая температура в ванне обработки в органических расторителях, не более, град.
75
Время нагрева ванны обработки в органических растворителях до рабочей температуры, не более, мин
40
Время непрерывной работы, час, не менее
8
Давление деионизованной воды, подаваемой на установку, МПа
0,3
Давление сжатого воздуха, подаваемого на установку, МПа
0,4
Диаметр трубки подачи сжатого воздуха, мм
6
Производительность вытяжной вентиляции, не менее, м³/ч
600
Напряжение питания, В
220
- с частотой тока, Гц
50
Потребляемая мощность, кВт, не более
2,5
Габаритные размеры (ВхШхД), не более, мм
1600х1800х960
Масса, не более, кг
400

Рабочая температура в ванне обработки в органических расторителях, не более, град.	75
Время нагрева ванны обработки в органических растворителях до рабочей температуры, не более, мин	40
Время непрерывной работы, час, не менее	8
Давление деионизованной воды, подаваемой на установку, МПа	0,3
Давление сжатого воздуха, подаваемого на установку, МПа	0,4
Диаметр трубки подачи сжатого воздуха, мм	6
Производительность вытяжной вентиляции, не менее, м³/ч	600
Напряжение питания, В	220
- с частотой тока, Гц	50
Потребляемая мощность, кВт, не более	2,5
Габаритные размеры (ВхШхД), не более, мм	1600х1800х960
Масса, не более, кг	400