Линия проявления фоторезиста

 (сертификат соответствия №POCC.RU.04СКЦ.TST.П.00076/1, ТУ ВРЛА 443249.002-12)

• обеспечивает проявление посредством струйного и погружного проявления для обеспечения вымывания из отверстий с высоким соотношением минимального диаметра сквозного отверстия к толщине (более 1:8);
• обладает возможностью профилактического обслуживания и замены элементов транспортной системы форсунок, распылительных труб и нагревателей без слива растворов;

 1.      Общий вид участка сборки модулей

   2.      Модуль входной

3. Модуль проявления I (стуйный)

4. Модуль проявления II (погружной) 

         7. Станция приготовления и дозировки раствора в автоматическом режиме   

  

Наименование технических характеристик	Значение
Марка оборудования   Наименование страны происхождения оборудования	V3   Модель УПФ Россия
Установка проявки фоторезиста	Обеспечивает проявку сухого пленочного фоторезиста в слоях и готовых платах по следующему циклу: - входной модуль - модуль проявления - модуль допроявления - трехкаскадная промывка - финишная промывка - сушка - выходной модуль
Технические характеристики:
Размер плат:   - минимальный размер заготовок; - максимальный размер заготовок.   Толщина: - минимальная толщина заготовок; - максимальная толщина заготовок;   Материал   Конвейерная система           Скорость конвейера   Рабочая скорость   Высота конвейера   Ширина конвейера   Эффективная ширина конвейера   Направление движения конвейера   Диаметр роликов   Расстояние между роликами	250 мм х 250 мм 650 мм х 650 мм     0,06 мм (не включая медь) 5 мм (не включая медь)   жесткости FR4   с роликами из полипропилена оси конвейерной системы сделаны из карбонового волокна металлические детали линии изготовлены из нерж. стали и титана   регулируемая, 2,5 м/мин   0,5 м/мин   1100 мм   760 мм   650 мм   справа налево   32 мм   25 мм
Электротехнические характеристики:
Электропитание Частота сети Потребляемая мощность	3х380 В 50 Гц 21,2 кВт
Параметры установки
Длина х Ширина х Высота	4141 х 2100 х 2640 мм (с учетом подключенных коммуникаций)
Водопотребление: – промывка – охлаждение	8 л/мин 24 л/мин
Давление в магистрали охлаждающей воды	от 2 бар до 3 бара
Температура охлаждающей воды	от 100С до 150С
Производительность вытяжки: - рабочий модуль - сушка	12,6 м3/мин 8,4 м3/мин
Вентиляционная труба, 1шт.	предусмотрена вентиляционная труба, 1шт.
Шкаф управления встроенный в установку с применением PLC контроллера и сенсорного экрана	предусмотрен шкаф управления встроенный в установку с применением PLC контроллера и сенсорного экрана
Сливные патрубки: - химический, 1 шт. - для воды, 1 шт.	предусмотрены сливные патрубки: - химический, 1 шт. - для воды, 1 шт.
Процесс проявления фоторезиста	84 с
Эффективная длина камеры проявления фоторезиста	700 мм при температуре от 280С до 350С
Схема процесса включает:
1. Входной модуль
- материал корпуса - длина  фото-электрический датчик, 1 шт.   кнопка аварийной остановки, 1 шт.	ПВХ 332 мм предусмотрен фото­электрический датчик, 1 шт. предусмотрена кнопка аварийной остановки, 1 шт.
2. Проявление фоторезиста
- материал корпуса - длина - объем Насос, 1 шт.: - мощность - давление - регулируемая рабочая температура	ПВХ 1277 (875) мм 380 л предусмотрен насос, 1 шт.: 5,5 л/с регулируемое, от 1,0 бар до 2,5 бар от 280С до 350С с автоматическим поддержанием
Струйная обработка
отжимные валы коллектор, 4 шт.-верх, 4 шт.-низ:   - материал	материал полипропилен предусмотрены: коллектор, 4 шт.-верх, 4 шт.-низ: ПВХ
Форсунка щелевая, не менее 80 шт.	предусмотрены - форсунка щелевая, 80 шт.
Система фильтрации	с фильтром, 10 мкм, с насосом
Термостатическая система
нагреватель/змеевик охлаждения - материал - термостат	6 кВт х 1шт./диаметр 19 мм х 10м нержавеющая сталь предусмотрен цифровой
Вытяжка,  2 шт.	диаметр 3"
3. Обработка свежим раствором (допроявление) - длина - объем - материал корпуса Насос,1 шт.: - мощность - давление - регулируемая рабочая температура	478 (280) мм 150 л ПВХ предусмотрен насос, 1 шт.: 2 л/с регулируемая от 1,0 бар до 1,8 бар от 280С до 350С с автоматическим поддержанием
Струйная обработка
отжимные валы коллектор, 2 шт.-верх, 1 шт.-низ:   - материал	материал полипропилен предусмотрены: коллектор, 2 шт.-верх, 1 шт.-низ: ПВХ
Форсунка щелевая, не менее 32 шт.	Предусмотрены - форсунка щелевая, 32 шт.
Система фильтрации	с фильтром, 10 мкм, с насосом
Термостатическая система
нагреватель – 1шт. змеевик охлаждения - материал - термостат	мощность, 2 кВт диаметр 19 мм х 6м нержавеющая сталь предусмотрен цифровой
Вытяжка, 1 шт.	диаметр 3?
4. Трехкаскадная промывка
I Промывка водой вторичного использования: Струйная обработка: отжимные валы коллектор, 1 шт.-верх - материал	материал полипропилен предусмотрен коллектор, 1 шт. - верх ПВХ
Форсунка щелевая, не менее 6 шт.	предусмотрены - форсунка щелевая, 6 шт.
Расходомер	1 шт., измеряет диапазон  от 0 до 8 л/мин
II Каскадная промывка под давлением (1): - длина - объем коллектор, 1 шт. - мощность - давление	292 мм 50 л. предусмотрен коллектор, 1 шт. 2 л/с предусмотрено регулируемое,  1,5 бар 2,7 бар
Струйная обработка: отжимные валы коллектор, 2 шт. – верх, 1 шт. – низ   - материал	материал полипропилен  предусмотрены - коллектор, 2 шт. - верх, 1 шт. - низ ПВХ
Форсунка щелевая, не менее 36 шт.	предусмотрена форсунка щелевая, 36 шт.
Система фильтрации	предусмотрена с фильтром, 10 мкм, с насосом
III Каскадная промывка под давлением (2): - длина - объем - материал коллектор,  1 шт. - мощность - давление	292 мм 50 л. ПВХ предусмотрен коллектор, 1 шт. 2 л/с предусмотрено регулируемое,  1,5 бар 2,7 бар
Струйная обработка: отжимные валы коллектор/ (Воздушный нож), 2 шт. – верх, 1 шт. – низ - материал	материал полипропилен предусмотрены - коллектор/(Воздушный нож), 2 шт. - верх,1 шт. - низ ПВХ
Форсунка щелевая, не менее 36 шт.	предусмотрены - форсунка щелевая, 36 шт.
Система фильтрации	предусмотрена с фильтром, 10 мкм, с насосом
IV Каскадная промывка под давлением (3): - длина - объем - материал коллектор, 1 шт. - мощность - давление	292 мм 50 л. ПВХ предусмотрен коллектор, 1 шт. 2 л/с предусмотрено регулируемое 1,5 бар 2,7 бар
Струйная обработка: отжимные валы коллектор 2 шт. – верх, 1 шт. – низ   - материал	материал полипропилен предусмотрен - коллектор 2 шт. - верх, 1 шт. - низ ПВХ
Форсунка щелевая, не менее 36 шт.	предусмотрены - форсунка щелевая, 36 шт.
Система фильтрации	предусмотрена с фильтром, 10 мкм, с насосом
V Подача свежей воды
Струйная обработка: отжимные валы коллектор, 1 шт. – верх, 1 шт. – низ   - материал	материал полипропилен предусмотрен - коллектор 1 шт. - верх, 1 шт. - низ ПВХ
Форсунка щелевая, не менее 12 шт.	предусмотрены - форсунка щелевая, 12 шт.
Расходомер, 1 шт.	предусмотрен расходомер, 1 шт. измеряет диапазон от 0 до 8 л/мин
Электромагнитный клапан (1/2), 1 шт.	предусмотрен электромагнитный клапан (1/2), 1 шт.
Отжимные впитывающие валики, 2 шт. – сверху, 2 шт. – снизу	предусмотрены отжимные впитывающие валики, 2 шт. - сверху, 2 шт. - снизу материал ПВА
VI Обдувка: - длина - материал корпуса Воздуходувка, 1 шт. - мощность - коллектор/ (Воздушный нож):  1 шт. – верх, 1 шт. – низ	425 мм ПВХ предусмотрена воздуходувка, 1 шт. 4 Вт предусмотрен - коллектор/ (Воздушный нож): 1 шт. - верх, 1 шт. - низ
Система фильтрации	предусмотрена с фильтром, 5 мкм
5. Выходной - длина	382 мм
Система фильтрации	предусмотрена с фильтром 5 мкм
Кнопка аварийной остановки	предусмотрена кнопка аварийной остановки
Снятие статического электричества	предусмотрено снятие статического электричества
Пульт управления с сенсорным ЖК экраном	предусмотрен пульт управления с сенсорным ЖК экраном
Датчик на входе конвейера	предусмотрен датчик на входе конвейера
Выключатели на входе и выходе установки	предусмотрены выключатели на входе и выходе установки
Для коллекторов	предусмотрено байонетное крепление цветовая и буквенная маркировка
Быстросъемные форсунки с байонетным креплением	предусмотрены быстросъемные форсунки с байонетным креплением
Емкость для хранения отжимных валов и форсунок	встроена в установку
Маркировка вентилей	тремя цветами, красным, синим, зеленым
Валы конвейера	цветовая и сквозная цифровая маркировка роликов и втулок
Установка	оснащена туманоуловителем
Все внешние фильтры, боковые и верхние крышки	снабжены датчиками
Туманоуловители и вытяжные коллектора	размещены над установкой
Язык интерфейса	русский, английский
Комплект поставки:
1. Установка проявки фоторезиста	1 шт.
2. Комплект запасных частей (ЗИП)	предусмотрен комплект запасных частей (ЗИП)
3. Инструкция оператору установки (включая инструкцию по техническому обслуживанию установки и инструкцию по технике безопасности)	на русском языке
4. Схема установки: модуль за модулем	на русском языке
5. Электрическая схема	предусмотрена электрическая схема
6. Документация по эксплуатации	на русском языке на электронном и бумажном носителях
7.Пуско-наладочные работы с отработкой технологического процесса и инструктаж специалистов Заказчика	проводит Поставщик
8. Сертифицированные инженеры по проведению пуско-наладочных работ данного оборудования	Сертифицированные инженеры по проведению пуско­наладочных работ данного оборудования
9. На контрольно-измерительные приборы, входящие в состав установки	Предусмотрены свидетельства о поверке (калибровки), руководство по эксплуатации на русском языке