Установка проявления фоторезиста УПФ

Обработка пластин до диаметром
до 200 мм и подложек до 177х177 мм
Удобное сенсорное управление
До четырех независимых линий проявителей с автоматической промывкой и сушкой
Проявление различными типами струй, в том числе распылением
Сопло с электроприводом для равномерного проявления

Установка предназначена для проявления фоторезиста, нанесенного на пластины/подложки посредством налива проявляющей жидкости различными типами струй с их последующей промывкой. Процесс проявления происходит в автоматическом режиме и легко программируется с помощью сенсорного дисплея. Программное обеспечение позволяет задавать оператору даже самые сложные рецепты обработки, которые могут включать в себя следующие стадии:

Проявление заготовки с помощью одной из линий проявителя посредством налива или распыления
Сушка заготовки азотом
Промывка заготовки деионизованной водой
Промывка линии проявителя
Сушка линии проявителя

Все элементы установки, контактирующие с проявителями, выполнены из современных материалов, обладающих высокой химической стойкостью: корпус установки и центрифуга – нержавеющая сталь, дозирующее сопло – пластик PEEK, линии проявителей – материалы PFA, PEEK, Kalrez.

Простота в использовании и обслуживании, быстрая переналадка на новый технологический процесс делают данную установку оптимальной для использования в условиях мелкосерийного производства, научно-исследовательских институтов и лабораторий.

Внешний вид программного обеспечения


Сопло с электроприводом, установленное в модуле центрифуги	Передний отсек УПФ

Технические характеристики:
Размеры проявляемых пластин/подложек, мм	до Ø200/ до 177x177
Регулируемые параметры процесса проявления: скорость вращения пластины, ускорение вращения пластины, длительность налива проявителя, длительность промывки деионизованной водой, длительность сушки.
Количество линий проявителя, не более, шт.	4
Скорость вращения центрифуги, не более, об/мин	5000
Диаметр сопла для распыления проявителя, мм	0,3-0,8
Количество запоминаемых рецептов, не более, шт	50
Количество сегментов в рецепте, не более, шт	24
Напряжение питания, В	220
с частотой тока, Гц	50
Потребляемая мощность, не более, Вт	4000
Диаметр трубки подвода сжатого воздуха, мм	6
Давление подводимого сжатого воздуха, не менее, МПа	0,4
Диаметр трубки подачи азота, мм	6
Давление подводимого азота, МПа	0,4
Внутренний диаметр подводимого вентиляционного шланга, мм	75
Габаритные размеру установки, не более, мм	850х750х1800
Вес установки, не более, кг	230